目前所有的高温高(gao)压灭菌器都要求工作时使用蒸馏水或纯水，因为蒸馏(liu)水具有纯净，无杂质，无(wu)离子，不(bu)会产生水(shui)垢等(deng)特性，如果灭菌器不使用蒸馏水，会对机器造成损伤。如细管路堵塞(sai)，干燥后在手机(ji)表面形成水垢，水斑，并沉积在灭菌器(qi)内的蒸汽传感(gan)器，温度传感器表面上，使传感器工作失常，影响灭菌器的正常使用，所以使用纯净的蒸馏水很重要。按(an)照际标准，灭菌器使用的纯净(jing)水的(de)电导率不超过15us/cm,但目前许多(duo)医(yi)院都是自己生产(chan)或外购蒸馏(liu)水，如生产过程控制不好，会使其中的水(shui)质有高有低，另(ling)外(wai)个(ge)原因(yin)是部(bu)分灭菌器内部循环使用蒸馏水，这回造成水质(zhi)持续下降，大约三(san)年左右的时间，机(ji)器产(chan)生故障的概率极高，高温高压灭菌器都需要使(shi)用纯水或(huo)蒸馏水。
检测蒸馏水的水质非常重要，目前有(you)些全自动预真空压力蒸汽灭菌器具有自动实时检测蒸馏水(shui)质的功能，电导率达到40us/cm设置报警(jing)，电导率达到65us/cm设置自动停机，有效(xiao)防止灭菌器故障。还可连接专用的去离子水装置，实现连续供应合格的纯净去离子水，避免经常添加蒸馏水的麻烦。
